TNO en ASML bundelen krachten om Europese productie van fotonische chips op te schalen

TNO en ASML hebben een nieuwe samenwerking aangekondigd die het Europese semicon ecosysteem moet versterken door de ontwikkeling en industrialisatie van fotonische chips. De samenwerking richt zich op het benutten van TNO’s nieuwe Photonic Chip Pilot Line, die momenteel in aanbouw is op de High Tech Campus in Eindhoven, een belangrijke Europese hotspot voor geïntegreerde fotonica.

Door hun technische expertise op elkaar af te stemmen, willen de partijen een schaalbare volumeproductie van fotonische chips mogelijk maken via oplossingen op het gebied van lithografie, procescontrole en metrologie. Het partnerschap omvat een gefaseerde aanpak waarbij ASML lithografie equipment, waaronder DUV- en I-Line-scanners, inzet binnen de fabriek. Deze gedeelde R&D-omgeving faciliteert technische workshops en gezamenlijke innovatieactiviteiten, waardoor ASML de infrastructuur van TNO kan benutten voor interne ontwikkeling en klantdemonstraties.

Versterken

“Dit partnerschap met ASML versterkt ons streven om Europese unicorns te bouwen binnen de chipindustrie. Door onze R&D-capaciteiten te combineren met apparatuur van wereldklasse, creëren we een unieke industriële omgeving waar de hele industrie van zal profiteren.”

Zodra de fabriek operationeel is, zal deze de volledige productie van geavanceerde Indiumfosfide (InP) fotonische chips op een 6-inch waferformaat mogelijk maken. Naast de fysieke productie is het R&D-eecosysteem er al klaar voor om van deze vooruitgang te profiteren. TNO, de Technische Universiteit Eindhoven en de Universiteit Twente werken binnen het gezamenlijk opgerichte Photonic Integration Technology Centre (PITC) samen om innovatieve ontwerpen om te zetten in praktijktoepassingen. Deze nieuwe, gestructureerde samenwerking met ASML is ontworpen om de operationele prestaties te verbeteren en ervoor te zorgen dat Europa een wereldleider blijft in het snel evoluerende landschap van geïntegreerde fotonica.

Wereldklasse

Arnaud de Jong, Managing Director TNO High Tech Industry, zegt: “Dit partnerschap met ASML versterkt ons streven om Europese unicorns te bouwen binnen de chipindustrie. Door onze R&D-capaciteiten te combineren met apparatuur van wereldklasse, creëren we een unieke industriële omgeving waar de hele industrie van zal profiteren.”

Stanislas Baron, Senior Vice President bij ASML, voegt daaraan toe: “Het opschalen van fotonische chiptechnologie vereist een naadloze overgang van grensverleggend onderzoek naar volumeproductie. Door onze lithografiesystemen te integreren in de fabriek van TNO overbruggen we die kloof. Deze samenwerking biedt ons de ideale omgeving om onze processen voor geïntegreerde fotonica te optimaliseren, wat uiteindelijk de marktintroductietijd van deze transformatieve technologie zal versnellen.”